微型機(jī)電系統(tǒng)一種基于微電子技術(shù)發(fā)展起來的多學(xué)科交叉前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過40多年的發(fā)展，已經(jīng)成為世界上最引人注目的技術(shù)領(lǐng)域之一。它涉及電子、機(jī)械、材料、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)等學(xué)科和技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。MEMS的全名是微型電子機(jī)械系統(tǒng)，集微型傳感器、微執(zhí)行器、微型機(jī)械機(jī)構(gòu)、信號(hào)處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信和電源于一體。它具有體積小、成本低、集成化的特點(diǎn)。應(yīng)用MEMS傳感器。
1.用于醫(yī)療。
MEMS傳感器用于無創(chuàng)胎心檢測。檢測胎兒心率是一項(xiàng)技術(shù)性很強(qiáng)的工作。由于胎兒心率快，使用傳統(tǒng)聽診器甚至只有放大功能的超聲波多普勒儀器很難用人工計(jì)數(shù)準(zhǔn)確測量。而且具有數(shù)字顯示功能的超聲波多普勒胎心監(jiān)護(hù)儀價(jià)格昂貴，僅供少數(shù)大醫(yī)院使用，在中小醫(yī)院和廣大農(nóng)村地區(qū)無法普及。此外，超聲對(duì)胎兒有很大的不利影響。雖然檢測劑量很低，但也屬于有損檢測范疇，不適合經(jīng)常重復(fù)檢查和家庭使用。
2.用于汽車電子。
MEMS壓力傳感器主要用于測量氣囊壓力、燃料壓力、發(fā)動(dòng)機(jī)油壓力、進(jìn)氣管道壓力和輪胎壓力。傳感器采用單晶硅作為材料，通過MEMS技術(shù)在材料中間制成力敏膜，然后在膜上擴(kuò)散雜質(zhì)，形成四種應(yīng)變電阻，然后通過惠斯頓電橋?qū)?yīng)變電阻連接到電路上，以獲得高靈敏度。汽車MEMS壓力傳感器有電容、壓阻、差動(dòng)變壓器、聲表面波動(dòng)等常見形式。MEMS加速度計(jì)的原理是基于牛頓的經(jīng)典力學(xué)定律，通常由懸掛系統(tǒng)和檢測質(zhì)量組成，通過微硅質(zhì)量塊的偏移檢測加速度，主要用于汽車安全氣囊系統(tǒng)、防滑系統(tǒng)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、防盜系統(tǒng)等。除了電容式和壓阻式外，MEMS加速度計(jì)還包括壓電式、隧道電流式、諧振式和熱電偶式。其中，電容式MEMS加速度計(jì)靈敏度高，受溫度影響小，主要用于汽車安全氣囊系統(tǒng)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)等。MEMEMEMEMEMS加速度傳感器加速度傳感器加速度傳感器主要用于汽車底盤加速度傳感器。
3.應(yīng)用于手機(jī)攝影領(lǐng)域。
手機(jī)攝像SDrive出現(xiàn)之前，手機(jī)攝像頭主要是通過音圈電機(jī)的移動(dòng)鏡頭組來實(shí)現(xiàn)抖動(dòng)防止(簡稱鏡頭抖動(dòng)防止技術(shù))，受到很大限制。市場上另一種高端抖動(dòng)防止技術(shù)是多軸抖動(dòng)防止技術(shù)，利用移動(dòng)圖像傳感器(ImageSensor)來補(bǔ)償抖動(dòng)，但由于該技術(shù)體積龐大，功耗超過手機(jī)負(fù)荷，不能應(yīng)用于手機(jī)。
伴隨著微電體積和功耗的突破，最新技術(shù)MEMSDrive類似于貼在圖像傳感器背面的平面電機(jī)，驅(qū)動(dòng)圖像傳感器在三個(gè)旋轉(zhuǎn)軸上移動(dòng)。MEMSDrive的顫抖防止技術(shù)是通過陀螺儀感知拍攝過程中的瞬時(shí)顫抖，通過精密算法計(jì)算電機(jī)應(yīng)該做的移動(dòng)幅度，進(jìn)行快速補(bǔ)償。這一系列動(dòng)作必須在1%以內(nèi)完成，你得到的圖像不會(huì)因?yàn)轭澏抖：?/p>
手機(jī)拍照給我們帶來了隨時(shí)隨地的便利，但是面對(duì)復(fù)雜的環(huán)境和各種拍照?qǐng)鼍?，手?dòng)拍照是不可避免的抖動(dòng)，比如走路躺著拍照，或者伸手拿著自拍棒自拍。無論什么樣的顫抖，MEMSDRIVE電機(jī)獨(dú)特的五軸顫抖和快速控制的技術(shù)優(yōu)勢，都能呈現(xiàn)出更清晰、更銳利的圖像。
4.適用于運(yùn)動(dòng)跟蹤系統(tǒng)。
在運(yùn)動(dòng)員的日常訓(xùn)練中，MEMS傳感器可以用來測量3D人體運(yùn)動(dòng)，記錄每一個(gè)動(dòng)作，教練分析結(jié)果，反復(fù)比較，提高運(yùn)動(dòng)員的成績。隨著MEMS技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，MEMS傳感器的價(jià)格也降低了，可以廣泛應(yīng)用于公共健身房。
在滑雪方面，3D運(yùn)動(dòng)跟蹤中的壓力傳感器、加速度傳感器、陀螺儀和全球定位系統(tǒng)不僅可以提供滑雪板的移動(dòng)數(shù)據(jù)，還可以記錄用戶的位置和距離。沖浪也是如此。安裝在沖浪板上的3D運(yùn)動(dòng)跟蹤可以記錄波高、速度、沖浪時(shí)間、漿板距離、水溫和消耗的熱量。
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