微型機電系統(tǒng)傳感器是采用微型電子和微型機械加工技術(shù)生產(chǎn)的新型傳感器。這種傳感器具有體積小、功耗低、成本低、智能化的特點，為解決傳統(tǒng)半導體TO封裝中遇到的功耗大、體積大等問題提供了有力的解決方案。與此同時，MEMS技術(shù)的應用也為氣體傳感器的集成化奠定了堅實的基礎(chǔ)。當前，業(yè)界普遍認為，基于MEMS技術(shù)的氣體傳感器已成為未來氣體傳感器的主要發(fā)展方向之一。
與物理類傳感器芯片不同，氣體傳感器涉及化學、材料、自動化、精密儀器、電子、半導體制造、軟件和算法等多個學科，制造難度大，工藝流程復雜?，F(xiàn)在，市場上的MEMS氣體傳感器一般都是以單晶硅材料為基礎(chǔ)，MOS金屬氧化物成分是氣體敏感材料，當氣體敏感材料暴露在被測氣體中時，氣體會與其發(fā)生作用，導致電導率或電阻率的變化，產(chǎn)生含有氣體成分和濃度的電信號，經(jīng)過信號處理電路處理后，就可以識別出氣體的成分和濃度。最常用的金屬氧化物半導體是二氧化錫，其次是二氧化鈦、氧化鋅等。為了提高氣敏感器的靈敏度和選擇性，常常會向金屬氧化物中加入催化劑，如鉑、鈀等貴金屬或合適的金屬氧化物。用的金屬氧化物半導體氣敏感器半導體是二氧化錫，其次是二氧化物，其次是二氧化鈦、氧化鋅等。為了提高氣敏感器的靈敏度和選擇性，通常會在金屬氧化物中加入催化物中加入催化劑，如鉑、鈀等。
隨著技術(shù)水平的不斷提高，市場對小型、低功耗、智能化、模塊化氣體傳感器的需求越來越大，尤其是在物聯(lián)網(wǎng)等廣泛應用的推動下，MEMS傳感器的應用空間越來越大。基于MEMS技術(shù)的半導體敏感材料(MOS)氣體傳感器開始廣泛應用于智能家電、智能家居、移動佩戴、物聯(lián)網(wǎng)環(huán)境監(jiān)測、建筑控制、醫(yī)療健康早期篩查等氣體檢測領(lǐng)域。
長期以來，氣體傳感器在物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展中起著關(guān)鍵作用。氣體傳感器出現(xiàn)在供暖、通風和空調(diào)(HVAC)系統(tǒng)、空氣凈化器、智能窗戶、汽車、醫(yī)療器械、大氣環(huán)境監(jiān)測、石油化工等行業(yè)。制造執(zhí)行系統(tǒng)和絲網(wǎng)印刷技術(shù)為氣體傳感器的小型化打開了大門，使這些微型氣體傳感器能夠集成到智能手機和可穿戴設備等消費電子產(chǎn)品中。未來，增加功能密度和精度將成為制造執(zhí)行系統(tǒng)的重要驅(qū)動因素，為更多場景帶來可感知價值！
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