硅微壓力傳感器主要分為兩類：電容式和壓阻式。該電容式壓力傳感器包括作為可變空氣電容器極板的薄膜，該薄膜在壓力作用下會產(chǎn)生位移，從而改變電容值，利用該變化通過相應(yīng)的電路來獲得壓力值。壓阻傳感器是利用硅材料在壓力作用下產(chǎn)生電阻變化的原理制作而成，通常由4個(gè)硅材料的應(yīng)變電阻組成惠斯通電橋來測量壓力。
而且硅微壓力傳感器具有體積小、重量輕、不動件少、可靠性高、可大規(guī)模生產(chǎn)等特點(diǎn)，因此成本也較低。由于傳感器具有可靠性高、成本低等特點(diǎn)，符合汽車工業(yè)的要求，所以硅微壓力傳感器在汽車工業(yè)中的應(yīng)用十分廣泛。例如自動制動系統(tǒng)的面壓、輪胎壓力、氣囊壓力、傳動系統(tǒng)的液壓、噴射系統(tǒng)的液壓、噴射燃油壓力、發(fā)動機(jī)機(jī)油壓力、進(jìn)氣管道壓力等均有硅微型壓力傳感器可用。
與此同時(shí)，在醫(yī)療保健領(lǐng)域中，硅微型壓力傳感器最大的應(yīng)用產(chǎn)品是血壓監(jiān)測儀。據(jù)說，一些大型醫(yī)療機(jī)械制造企業(yè)每年使用約500萬個(gè)壓力傳感器。另外，諸如女性難產(chǎn)時(shí)用于監(jiān)測子宮壓力的硅微壓力傳感器、靜脈注射用于監(jiān)測藥液流動的傳感器等，市場需求也很大。在醫(yī)療保健領(lǐng)域，許多其它應(yīng)用也在不斷地開發(fā)，因此，這種傳感器在醫(yī)療保健領(lǐng)域的發(fā)展前景也十分可觀。
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